アルバック 成膜用ＲＦ電源 ＲＭＧ－１３０３ ＲＦ電源システム 6814234 210007138700
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台
メーカー希望小売価格
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¥2,306,700（税込）
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商品詳細
注文番号
XXV2UB5
メーカー名
アルバック
入数
1台
仕様
●定格出力電力(W)：300
●幅(mm)：200
●奥行(mm)：350
●高さ(mm)：200
●出力電流(A)：10
●入力電源設備容量(kVA)：0.7
●定格出力電流(A)：10
●タイプ：成膜用RF電源
●入力電圧：AC100V／220V（単相）
●入力周波数(Hz)：50/60Hz
●出力側周波数(kHz)：13.56MHz
●定格電圧(Vpp/Vdc)：VPP/VDC：2500Vpp/2500Vdc
●制御方式：アナログ/デジタル、RS-232C
●規格：RoHS、CE、KC、SEMI-F47に対応
●表示パネル：RFP-N
●入力ケーブル：AC01-R-JP_5m
●電源-表示パネル間ケーブル：CONT-N_4m
●幅(mm)：200
●奥行(mm)：350
●高さ(mm)：200
●出力電流(A)：10
●入力電源設備容量(kVA)：0.7
●定格出力電流(A)：10
●タイプ：成膜用RF電源
●入力電圧：AC100V／220V（単相）
●入力周波数(Hz)：50/60Hz
●出力側周波数(kHz)：13.56MHz
●定格電圧(Vpp/Vdc)：VPP/VDC：2500Vpp/2500Vdc
●制御方式：アナログ/デジタル、RS-232C
●規格：RoHS、CE、KC、SEMI-F47に対応
●表示パネル：RFP-N
●入力ケーブル：AC01-R-JP_5m
●電源-表示パネル間ケーブル：CONT-N_4m
